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FLTZ -45℃~90℃

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廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質(zhì) 不可燃流體控溫場(chǎng)所,適用于半導(dǎo)體芯片制造、芯片器件、航空電子設(shè) 備中的制冷加熱溫度控制。

廠家實(shí)力視頻:

生產(chǎn)車(chē)間面積超1.2萬(wàn)㎡,2021年銷(xiāo)售額突破3億元,在職員工近300人。

應(yīng)用行業(yè)

無(wú)錫冠亞氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱截止不可燃流體控溫場(chǎng)所,適用于半導(dǎo)體芯片制造流程、功率器件、航空電子設(shè)備中的制冷加熱溫度控制。

產(chǎn)品不僅能在眾多傳熱應(yīng)用中提供較好性能,而且不會(huì)對(duì)人身安全和環(huán)境可持續(xù)性產(chǎn)生負(fù)面影響。氟化液制冷加熱控溫是使用不可燃的絕緣液體氟化液,具有工作溫度范圍寬泛,易于維護(hù)等特點(diǎn),是傳統(tǒng)冷卻液體(如水、水乙二醇或油)的理想替代品。氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)用途廣泛,從半導(dǎo)體制程過(guò)程冷卻,再到對(duì)航空航天電子設(shè)備的冷卻都有應(yīng)用。

結(jié)構(gòu)原理

控溫系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)原理和功能優(yōu)勢(shì) 采用全密閉管道式設(shè)計(jì),降低導(dǎo)熱液需求量的同時(shí),提高系統(tǒng)的熱量利 用率,達(dá)到快速升降溫度。

氟化液具有低毒性、不可燃,屬于一種不會(huì)影響環(huán)境的可持續(xù)性發(fā)展的 高性能產(chǎn)品,可使溫室氣體排放量減少。同時(shí)針對(duì)氟化液易揮發(fā)特點(diǎn), 加強(qiáng)接頭設(shè)計(jì)、系統(tǒng)密封設(shè)計(jì),確保介質(zhì)使用壽命。

型號(hào)FLTZ-402
FLTZ-402W
FLTZ-403
FLTZ-403W
FLTZ-404
FLTZ-404W
FLTZ-406
FLTZ-406W
FLTZ-408
FLTZ-408W
FLTZ-410
FLTZ-410W
FLTZ-415
FLTZ-415W
溫度范圍?-45℃~90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
流量/壓力 MAX10~25L/min? 5bar15~45L/min 5bar25~75L/min 5bar
制熱采用壓縮機(jī)制熱,防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量at-35℃1kW1.4kW1.8kW2.5kW3.3kW5kW8kW
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R404A
載冷劑硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進(jìn)出接口尺寸Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc1Rc1
冷卻水接口Rc1/2Rc3/4Rc3/4Rc1Rc1Rc1Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/H2.4m3/H3.5m3/H5m3/H5.5m3/H6m3/H8m3/H
?藝過(guò)程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹(shù)算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度(動(dòng)態(tài)控溫)
外形尺寸 cm90*45*11390*45*11390*45*113105*50*140105*50*140108*60*150108*60*150

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