單通道系列Chiler

2025/07/24 Chiller高精度冷熱循環(huán)器 84

適用范圍

FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進(jìn)出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。

加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進(jìn)的低溫制冷技術(shù)，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。

產(chǎn)品參數(shù)

FLTZ? 5℃～90℃

型號(hào)	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
溫度范圍	5℃～90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
制冷量at10℃	6kW	8kW	10kW	15kW	20kW	25kW	40kW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等（純凈水溫度需要控制10℃以上）
進(jìn)出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/h	2m3/h	2.5m3/h	4m3/h	4.5m3/h	5.6m3/h	9m3/h
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
外形尺寸 cm	9538106	9538106	950380106	9843140	9843140	10860150	10860150

FLTZ? -25℃～+90℃

型號(hào)	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
溫度范圍	?-25℃～90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量 MAX	10～25L/min		15～45L/min			25～75L/min
制冷量at-15℃	2kW	3kW	3.8kW	6kW	7.6kW	10kW	15kW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進(jìn)出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.2m3/H	1.6m3/H	2.6m3/H	3.6m3/H	5.5m3/H	7m3/H	10.2m3/H
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
外形尺寸 cm	9538106	9538106	9538106	9843140	9843140	10860150	10860150

FLTZ? -45℃～+90℃

型號(hào)	FLTZ-402 FLTZ-402W	FLTZ-403 FLTZ-403W	FLTZ-404 FLTZ-404W	FLTZ-406 FLTZ-406W	FLTZ-408 FLTZ-408W	FLTZ-410 FLTZ-410W	FLTZ-415 FLTZ-415W
溫度范圍	?-45℃～90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量/壓力 MAX	10～25L/min? 5bar max		15～45L/min 5bar max			25～75L/min 5bar max
制熱	采用壓縮機(jī)制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量at-35℃	1kW	1.4kW	1.8kW	2.5kW	3.3kW	5kW	8kW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進(jìn)出接口尺寸	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水接口	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/H	2.4m3/H	3.5m3/H	5m3/H	5.5m3/H	6m3/H	8m3/H
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
外形尺寸 cm	9538106	9538106	9538106	9843140	9843140	10850150	10850150

FLTZ? -80℃～+90℃

型號(hào)	FLTZ-803W	FLTZ-805W	FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-810W
溫度范圍	?-80℃～+90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量/壓力 MAX	7～25L/min? 5bar		12～45L/min 6bar
制冷量at-70℃	0.6kW	1kW	1.5kW	2kW	3kW
加熱功率	2kW	2kW	2kW	3.5kW	3.5kW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液
進(jìn)出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水a(chǎn)t20℃	1.8m3/h	2.5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
斷路器	25A	25A	32A	40A	50A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）

FLTZ? -100℃～+90℃

型號(hào)	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W
溫度范圍	?-100℃～+90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量 MAX	7～25L/min	12～45L/min
制冷量at-90℃	1.5kW	3kW
加熱功率	3.5kW	5.5kW
內(nèi)循環(huán)液容積	5L	8L
膨脹罐容積	10L	15L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水接口	ZG3/4	ZG1
冷卻水a(chǎn)t20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
斷路器	32A	63A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）

型號(hào)	FLTZ-001S	FLTZ-002S FLTZ-002WS	FLTZ-003S FLTZ-003WS	FLTZ-004S FLTZ-004WS	FLTZ-006S FLTZ-006WS	?FLTZ-008WS	FLTZ-010WS
溫度范圍	15℃～25℃
控溫精度	±0.005℃? 設(shè)備出口溫度控制精度
流量	7L/min 3bar	15L/min? at 4bar		30L/min at 4bar		75L/min? at? 4bar
制熱	采用壓縮機(jī)制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量@20℃	3kW	7kW	10.5kW	14kW	21kW	28kW	?35kW
液體容積	8L	15L	20L	30L	50L	60L	80L
制冷劑	R1234fa???? （ODP=0?? GWP=4）
載冷劑	純凈水
控制器	PLC，模糊PID控制算法，具備串級(jí)控制算法
溫度控制	導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度控制模式 pt100
	外接溫度傳感器：（PT100或4～20mA或通信給定）控制模式（串級(jí)控制）
通信協(xié)議	以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
	RS485接口 modbus RTU協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋	設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)進(jìn)口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、壓縮機(jī)排吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有）
系統(tǒng)壓力	制冷系統(tǒng)壓力采集高低壓壓力傳感器
	循環(huán)系統(tǒng)壓力采集進(jìn)出口位置采用壓力傳感器
循環(huán)泵	磁力無機(jī)械密封循環(huán)泵
蒸發(fā)器	板式換熱器
冷凝器	微通道冷凝器（風(fēng)冷）
	板式換熱器（水冷），特別注意：需要使用清潔廠務(wù)水
制冷節(jié)流	電子膨脹閥
操作面板	7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)	具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；壓力保護(hù)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
系統(tǒng)撿漏	制冷系統(tǒng)100%氦檢出廠? 循環(huán)系統(tǒng)100%氦檢出廠
進(jìn)出接口尺寸	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
冷卻水接口	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
外殼	冷軋板噴塑RAL7035