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Chiller高精度冷熱循環器

Chiller高精度冷熱循環器

冠亞恒溫制冷代表國際先進的液體溫度控制技術,積極探索和研究元件測試系統,主要用于醫藥化工、新能源、半導體、航空航天測試中的溫度測試模擬,具有寬的溫度方向和高溫升降,溫度范圍:-100°C~+90°C,控溫精度高達:±0.01℃適用于各種測試要求。

產品有流體氟化液控溫(最低-100度)、支持多通道連續控溫。所有設備出廠前經過100%氨檢測,100%安規檢測,確保系統安全可靠性。40℃以內加熱方式采用壓縮機熱氣加熱,Chiller循環系統采用全密閉設計、采用磁力驅動泵,擁有高效的生產穩定性和可重復性結果,滿足復雜控溫需求,支持非標定制。


單通道系列chiller

半導體溫控裝置Chiller 主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度準確控制,控溫范圍:-100℃~+90℃;控溫精度:±0.01℃。公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現系統快速響應、較高的控制精度。

chiller 的排吸氣溫度(壓力)、冷凝溫度、冷卻水溫度(壓力)、進出液體(氣體)溫度(壓力)、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統進行全面管理監控記錄。

FLTZ? 5℃~+90℃

型號FLTZ-002
FLTZ-002W
FLTZ-003
FLTZ-003W
FLTZ-004
FLTZ-004W
FLTZ-006
FLTZ-006W
FLTZ-008
FLTZ-008W
FLTZ-010
FLTZ-010W
FLTZ-015
FLTZ-015W
溫度范圍5℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
制冷量AT10℃6kW8kW10kW15kW20kW25kW40kW

FLTZ? -25℃~+90℃

型號FLTZ-202
FLTZ-202W
FLTZ-203
FLTZ-203W
FLTZ-204
FLTZ-204W
FLTZ-206
FLTZ-206W
FLTZ-208
FLTZ-208W
FLTZ-210
FLTZ-210W
FLTZ-215
FLTZ-215W
溫度范圍-25℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
制冷量AT-15℃2kW3kW3.8kW6kW7.6kW10kW15kW

FLTZ? -45℃~+90℃

型號FLTZ-402
FLTZ-402W
FLTZ-403
FLTZ-403W
FLTZ-404
FLTZ-404W
FLTZ-406
FLTZ-406W
FLTZ-408
FLTZ-408W
FLTZ-410
FLTZ-410W
FLTZ-415
FLTZ-415W
溫度范圍-45℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
制冷量AT-35℃1kW1.4kW1.8kW2.5kW3.3kW5kW8kW

FLTZ? -80℃~+90℃

型號FLTZ-803WFLTZ-805WFLTZ-806WFLTZ-808WFLTZ-810W
溫度范圍?-80℃~+90℃
控溫精度
  1. ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
流量/壓力 MAX7~25L/min? 5bar12~45L/min 6bar

FLTZ? -100℃~+90℃

型號FLTZ-1002WFLTZ-1004W
溫度范圍?-100℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
流量 MAX7~25L/min12~45L/min
制冷量at-90℃1.5kW3kW

FLTZ? 15℃~+25℃

型號FLTZ-001SFLTZ-002S
FLTZ-002WS
FLTZ-003S
FLTZ-003WS
FLTZ-004S
FLTZ-004WS
FLTZ-006S
FLTZ-006WS
?FLTZ-008WSFLTZ-010WS
溫度范圍15℃~25℃
控溫精度±0.005℃? 設備出口溫度控制精度
流量7L/min 3bar15L/min? at 4bar30L/min at 4bar75L/min? at? 4bar

所有設備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進?溫度:20℃;出?溫度:25℃。


雙通道系列chiller

多通道獨?控溫,可以具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能?、導熱介質流量等,采?獨立的兩套系統,根據所需的溫度范圍選擇采?蒸汽壓縮制冷,或者采?ETCU?壓縮機換熱系統,系統可通?膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統等,可以有效減少設備尺?,減少操作步驟。

FLTZ -20℃~+90℃

型號FLTZ-203W-2T
管道通道1通道2
溫度范圍-20℃~+90℃-20℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
制冷量4kW@-10℃4kW@-10℃
冷卻水流量20L/min20L/min

FLTZ -45℃~+80℃

型號FLTZ-406W/ETCU-015W
管道通道1通道2
溫度范圍-45℃~+40℃+10℃~+80℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
制冷量11kW@-20℃? 5kW@-40℃13kW@+10℃
冷卻水流量40L/min20L/min

FLTZ -45℃~+90℃

型號FLTZ-203W/2T雙系統FLTZ-305W/2T雙系統FLTZ-406W/2T雙系統
溫度范圍-20℃~+90℃-30℃~+90℃-45℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
流量壓力15~45L/min , 6 bar max
制冷量3kW@-15℃3kW@-15℃5kW@-15℃5kW@-15℃2.5kW@-35℃2.5kW@-35℃
冷卻水流量50L/min@20℃60L/min@20℃50L/min@20℃

所有設備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進?溫度:20℃;出?溫度:25℃。

FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精準控制,系統支持三個通道獨立控溫,每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質流量等。
公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現系統快速響應、較高的控制精度,加載情況下控溫精度可達±0.1C,可在-20℃~+100℃之間任意切換,具有良好的溫度跟隨性。

三通道 -10℃~+80℃

型號FLTZ-203W/ETCU-008W
管道通道1通道2通道3
溫度范圍-10℃~+60℃+30℃~+80℃-10℃~+80℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
制冷量4kW@-10℃/21kW@20℃6kW@+30℃3kW@-10℃
冷卻水流量30L/min@15~20℃15L/min@15~20℃15L/min@15~20℃

所有設備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進?溫度:20℃;出?溫度:25℃。


三通道 -30℃~+100℃

型號FLTZ-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
管道通道1通道2通道3
溫度范圍-20℃~+50℃+30℃~+100℃-30℃~+40℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
制冷量15kW@-10℃13kW@PCW+15℃8kW@PCW+10℃
冷卻水流量30L/min@15~20℃15L/min@15~20℃15L/min@15~20℃

雙通道高溫chiller

本設備的研發?的是開發?種專?高溫控溫的Chiller,用來滿足半導體?溫測試需求。

創新點:介質溫度最高可達250℃;以特殊的?藝方式,保證系統高溫?況下的控溫精度。

 

 

 

FLTZH 40℃~+250℃

型號FLTZH-5W/2T
介質溫度范圍40℃~+250℃
溫控點控制模式本體出液口溫控控制模式
本體回液口溫度控制模式
CHUCK入口溫度控制模式(通信)
CHUCK回口溫度控制模式(通信)
CHUCK本體溫度控制模式(通信)
外接入溫度反饋通過通信
介質出口溫控精度±0.1℃
CHUCK溫控精度±0.5℃
加熱功率5.5kW5.5kW
冷卻能力 kW? AT250 ℃5.5kW5.5kW
150 ℃5kW5kW
100 ℃4kW4kW
50 ℃2kW2kW
流量/壓力8L/min 4bar8L/min 4bar

所有設備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進?溫度:20℃;出?溫度:25℃。


帕爾貼chiller

冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃,專為半導體行業度身定制;
基于經過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理,帕爾貼溫度控制系統能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制;
對于靜電卡盤(ESC)動態的溫度控制,使得其能夠應用于所有類型的刻蝕工藝;
快速和精確的溫度控制,能夠滿足任何嚴苛的工藝要求;

TEC -20℃~90℃

型號TEC-1200WTEC-2500WTEC-4500W
溫度范圍-20℃~90℃
控溫精度±0.1℃
制冷能力20℃1200W2450W4500W
10℃900W1925W3500W
0℃600W1400W2600W
?-10℃350W875W1600W
?-20℃80W350W700W
制熱能力>3000W>6000W>12000W

負壓型控溫機組chiller

負壓型控溫系統通過負壓環境下的流體循環實現精準溫度控制,原理:通過負壓發?器驅動導熱介質(?/油)循環,避免泄漏風險,適用于各種類型板卡冷卻。

 

設備名稱負壓循環溫控設備
設備型號ZLFQ-80
額定換熱量80kW
一次側
(介質側)
工作介質純水、氟化液、乙二醇水溶液等
額定流量300L/MIN
儲液容積120L
供回液溫度25/35℃
溫控精度±0.3℃
真空泵抽氣量130m3/h
負壓壓頭70KPA
內循環泵配置1+1冗余
介口尺寸ZG1-1/4
二次側
(冷卻側)
冷卻介質PCW
冷卻流量4m3/h
過濾精度50um
介口尺寸ZG1

 

 

 

 

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