雙通道系列Chiller

2024/11/14 Chiller高精度冷熱循環(huán)器 2316

半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度準(zhǔn)確控制，控溫范圍：-100℃～+90℃；控溫精度：±0.01℃。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無(wú)模型自建樹(shù)算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

產(chǎn)品詳情詳細(xì)參數(shù)

chiller 的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進(jìn)出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過(guò)傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。

40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱。chiller 循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì)、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動(dòng)泵。Chiller 100%氦檢測(cè)，100%安規(guī)檢測(cè)，確保系統(tǒng)安全可靠。chiller 100%經(jīng)過(guò)24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)。

冷凝器微通道換熱器（風(fēng)冷）板式換熱器（水冷）；蒸發(fā)器：板式換熱器；節(jié)流裝置：電子膨脹閥；控制系統(tǒng)：PLC可編程控制器

通訊：RS485接口Modbus RTU協(xié)議，以太網(wǎng)接口 TCP/IP協(xié)議

操作界面：無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出

循環(huán)系統(tǒng)：整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，低溫不吸收空氣中水份，不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)，低溫自動(dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng)。

外殼材質(zhì)：冷軋板噴塑RAL7035；管路內(nèi)部含：不銹鋼SUS304、銅、陶瓷、碳化硅、硅酮密封膠、PTFE

FLTZ? -20℃~+90℃

型號(hào)	FLTZ-203W-2T
管道	通道1	通道2
溫度范圍	-20℃～+90℃	-20℃～+90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
制冷量	4kW@-10℃	4kW@-10℃
加熱能力	2kW	2kW
流量/壓力 MAX	20L/min 0.5MPa	20L/min 0.5MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	Rc3/4	Rc3/4
環(huán)境溫度	10～35℃	10～35℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	20L/min	20L/min
斷路器	30A
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹(shù)算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
重量	400kg
外形尺寸 cm	5090160

FLTZ? -45℃~+80℃

型號(hào)	FLTZ-406W/ETCU-015W
管道	通道1	通道2
溫度范圍	-45℃～+40℃	+10℃～+80℃
溫度穩(wěn)定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
冷卻能力	11kW@-20℃ 5kW@-40℃	13kW@+10℃
加熱能力	2kW	6kW
流量/壓力 MAX	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	Rc3/4	Rc3/4
環(huán)境溫度	10～35℃	10～35℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	40L/min	20L/min
斷路器	80A
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹(shù)算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
重量	550kg
外形尺寸 cm	60100185

FLTZ? -45℃~+90℃

型號(hào)	FLTZ-203W/2T雙系統(tǒng)		FLTZ-305W/2T? 雙系統(tǒng)		FLTZ-406W/2T? 雙系統(tǒng)
溫度范圍	-20℃~90℃		?-30℃~90℃		-45℃~90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量/壓力 MAX	15~45L/min 6bar
制熱	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3.5kW	3.5kW
制冷量	3kW at-15℃	3kW at-15℃	5kW at-15℃	5kW at-15℃	2.5kW at -35℃	2.5kW at -35℃
內(nèi)循環(huán)液容積	5L	5L	8L	8L	8L	8L
膨脹罐容積	15L		25L		25L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液、防凍液、導(dǎo)熱硅油等
制冷劑	R404A/ R448
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	Rc3/4
冷卻水接口	Rc3/4
冷卻水	50L/min at20℃		60L/min at20℃		50L/min at20℃
電源	三相220V? /? 三相400V? /三相460V
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹(shù)算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）

FLTZ? 40℃~+250℃

型號(hào)		FLTZH-5W/2T
介質(zhì)溫度范圍		40℃～+250℃
控制系統(tǒng)		PLC控制器
溫控點(diǎn)控制模式		本體出液口溫控控制模式本體回液口溫度控制模式 CHUCK入口溫度控制模式（通信） CHUCK回口溫度控制模式（通信） CHUCK本體溫度控制模式（通信）
溫差控制		可設(shè)定控制目標(biāo)控制溫度點(diǎn)與本體出液口溫度溫差
通信協(xié)議		MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS485接口，以太網(wǎng)接口
外接入溫度反饋		通過(guò)通信
介質(zhì)出口溫控精度		±0.1℃
CHUCK溫控精度		±0.5℃
加熱功率		5.5kW	5.5kW
冷卻能力 kW? AT	250 ℃	5.5kW	5.5kW
	150 ℃	5kW	5kW
	100 ℃	4kW	4kW
	50 ℃	2kW	2kW
流量/壓力		8L/min 4bar	8L/min 4bar
操作面板		7寸觸摸屏
安全防護(hù)		具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電流監(jiān)控、漏水報(bào)警、加熱系統(tǒng)三重保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及斷流保護(hù)
密閉循環(huán)系統(tǒng)		整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙蜏刈詣?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。
接口尺寸		G1/2	G1/2
冷卻水接口		Rc1/2
冷卻水流量		10L/min max? at 25℃
導(dǎo)熱介質(zhì)		氟化液
外形尺寸 cm		4585145（可定制化）
重量kg		約40KG
電源		220V 三相四線制 32A
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑RAL7035

FLTZ? -20℃~+90℃

型號(hào)	FLTZ-203W-2T
管道	通道1	通道2
溫度范圍	-20℃～+90℃	-20℃～+90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
制冷量	4kW@-10℃	4kW@-10℃
加熱能力	2kW	2kW
流量/壓力 MAX	20L/min 0.5MPa	20L/min 0.5MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	Rc3/4	Rc3/4
環(huán)境溫度	10～35℃	10～35℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	20L/min	20L/min
斷路器	30A
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹(shù)算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
重量	400kg
外形尺寸 cm	5090160

FLTZ? -45℃~+80℃

型號(hào)	FLTZ-406W/ETCU-015W
管道	通道1	通道2
溫度范圍	-45℃～+40℃	+10℃～+80℃
溫度穩(wěn)定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
冷卻能力	11kW@-20℃ 5kW@-40℃	13kW@+10℃
加熱能力	2kW	6kW
流量/壓力 MAX	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	Rc3/4	Rc3/4
環(huán)境溫度	10～35℃	10～35℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	40L/min	20L/min
斷路器	80A
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹(shù)算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
重量	550kg
外形尺寸 cm	60100185

FLTZ? -45℃~+90℃

型號(hào)	FLTZ-203W/2T雙系統(tǒng)		FLTZ-305W/2T? 雙系統(tǒng)		FLTZ-406W/2T? 雙系統(tǒng)
溫度范圍	-20℃~90℃		?-30℃~90℃		-45℃~90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量/壓力 MAX	15~45L/min 6bar
制熱	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3.5kW	3.5kW
制冷量	3kW at-15℃	3kW at-15℃	5kW at-15℃	5kW at-15℃	2.5kW at -35℃	2.5kW at -35℃
內(nèi)循環(huán)液容積	5L	5L	8L	8L	8L	8L
膨脹罐容積	15L		25L		25L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液、防凍液、導(dǎo)熱硅油等
制冷劑	R404A/ R448
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	Rc3/4
冷卻水接口	Rc3/4
冷卻水	50L/min at20℃		60L/min at20℃		50L/min at20℃
電源	三相220V? /? 三相400V? /三相460V
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹(shù)算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）

FLTZ? 40℃~+250℃

型號(hào)		FLTZH-5W/2T
介質(zhì)溫度范圍		40℃～+250℃
控制系統(tǒng)		PLC控制器
溫控點(diǎn)控制模式		本體出液口溫控控制模式本體回液口溫度控制模式 CHUCK入口溫度控制模式（通信） CHUCK回口溫度控制模式（通信） CHUCK本體溫度控制模式（通信）
溫差控制		可設(shè)定控制目標(biāo)控制溫度點(diǎn)與本體出液口溫度溫差
通信協(xié)議		MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS485接口，以太網(wǎng)接口
外接入溫度反饋		通過(guò)通信
介質(zhì)出口溫控精度		±0.1℃
CHUCK溫控精度		±0.5℃
加熱功率		5.5kW	5.5kW
冷卻能力 kW? AT	250 ℃	5.5kW	5.5kW
	150 ℃	5kW	5kW
	100 ℃	4kW	4kW
	50 ℃	2kW	2kW
流量/壓力		8L/min 4bar	8L/min 4bar
操作面板		7寸觸摸屏
安全防護(hù)		具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電流監(jiān)控、漏水報(bào)警、加熱系統(tǒng)三重保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及斷流保護(hù)
密閉循環(huán)系統(tǒng)		整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?，低溫自?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。
接口尺寸		G1/2	G1/2
冷卻水接口		Rc1/2
冷卻水流量		10L/min max? at 25℃
導(dǎo)熱介質(zhì)		氟化液
外形尺寸 cm		4585145（可定制化）
重量kg		約40KG
電源		220V 三相四線制 32A
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑RAL7035