半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller是半導(dǎo)體制造設(shè)備中實現(xiàn)溫度準(zhǔn)確控制的控溫裝置，通過制冷循環(huán)與熱交換技術(shù)，將工藝過程中產(chǎn)生的熱量準(zhǔn)確轉(zhuǎn)移，確保設(shè)備與晶圓在溫控精度下穩(wěn)定運行。

　一、半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller技術(shù)解析

半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller支持寬域溫控，覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積等全流程需求。與設(shè)備主控系統(tǒng)實時交互，實現(xiàn)工藝參數(shù)與溫控的閉環(huán)聯(lián)動。

半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller通過壓縮機、冷凝器、膨脹閥、蒸發(fā)器件實現(xiàn)制冷循環(huán)。典型代表為水冷式Chiller，適用于大規(guī)模晶圓廠刻蝕設(shè)備。

半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller溫控范圍廣，制冷效率高，支持多通道并聯(lián)運行。其中，單通道Chiller適用于單一溫區(qū)控制，如晶圓卡盤冷卻。雙通道Chiller支持頂部與底部同步控溫，用于蝕刻反應(yīng)腔等復(fù)雜結(jié)構(gòu)。

二、半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller應(yīng)用場景

晶圓制造環(huán)節(jié)

光刻工藝：維持浸沒式光刻機的液態(tài)介質(zhì)溫度穩(wěn)定，避免熱脹冷縮導(dǎo)致的套刻偏差。

刻蝕工藝：控制反應(yīng)腔室溫度，確保等離子體刻蝕速率均勻性。

離子注入：冷卻離子源與加速電，保障離子束能量穩(wěn)定性。

封裝測試環(huán)節(jié)

倒裝焊（Flip Chip）：通過雙通道Chiller同步控制基板與芯片溫度，減少熱應(yīng)力導(dǎo)致的焊點失效。

可靠性測試：在高溫老化（HTOL）試驗中，Chiller可模擬-65℃至150℃的溫度循環(huán)。

封裝領(lǐng)域

2.5D/3D封裝：為熱壓鍵合（TCB）設(shè)備提供±0.5℃的溫控，確保Bump高度一致性。

硅光子封裝：冷卻耦合激光器，維持波長穩(wěn)定性。

半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller性能直接關(guān)聯(lián)到芯片的精度、良率與可靠性。通過準(zhǔn)確選型與智能化升級，企業(yè)可構(gòu)建更具競爭力的溫控解決方案，賦能半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高技術(shù)節(jié)點邁進。