光刻機(jī)制冷機(jī)組的種類有很多，各有各的特點(diǎn)，用戶需要根據(jù)使用需求選擇適合的光刻機(jī)制冷機(jī)組。那么到底有哪些光刻機(jī)制冷機(jī)組呢？

1、根據(jù)機(jī)型構(gòu)造光刻機(jī)制冷機(jī)組根據(jù)冷卻方式的差異，也被分成了風(fēng)冷式和水冷式。

2、冷卻介質(zhì)有鹽水，乙二醇等等,也可以根據(jù)冷卻介質(zhì)的不同進(jìn)行分類。

3、光刻機(jī)制冷機(jī)組的壓縮機(jī)為活塞式、離心式,、渦旋式、螺桿式，我們也可以根據(jù)光刻機(jī)制冷機(jī)組壓縮機(jī)對(duì)其進(jìn)行分類。此外，光刻機(jī)制冷機(jī)組的蒸發(fā)器也有很多類型，也可以根據(jù)蒸發(fā)器類型差異對(duì)其進(jìn)行劃分。根據(jù)出水溫度又或是制冷原理的不同，又被分成了吸收式和壓縮式。

4、在更換的時(shí)候，需要先取下連接壓縮機(jī)排氣管和吸氣管的連接管道，由于連接冷凝器和管道距離較近，不容易從管口中取出，因此應(yīng)先取下連接壓縮機(jī)排氣管和吸氣管的管道。

5、安裝四通閥閥體的時(shí)候，可以使用焊槍加熱連接四通間根部3根管道的管口，使表面剩余焊料充分熔化、流動(dòng)直至掉下，使管口表面光滑，這樣能順利插入至四通閥管口。因焊接時(shí)難點(diǎn)在于根部的3個(gè)管道，可將連接壓縮機(jī)排氣管的管道扳到一邊，待焊接3個(gè)管口后再焊接連接壓縮機(jī)排氣管的管口。

6、由于四通間中間管道難焊接，應(yīng)首先焊接中間管道，再焊接兩側(cè)管道，接著焊接連接壓縮機(jī)排氣管的管道，安裝和焊接接連壓縮機(jī)排氣管管口之后，四個(gè)接口焊接完成啦

7、安裝完光刻機(jī)制冷機(jī)組的四通閥之后，需要注意制冷系統(tǒng)的撿漏工作，撿漏結(jié)束再投入使用。