無(wú)錫冠亞恒溫1.jpg)
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Chiller 直冷型
氣體控溫系統(tǒng) 5127
半導(dǎo)體行業(yè)廣泛應(yīng)用
適用于半導(dǎo)體晶圓廠的刻蝕、化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積工藝制程，對(duì)ETCH、CVD、PVD制程設(shè)備的反應(yīng)腔體進(jìn)行精確控溫
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| 型號(hào) | ZLJ-41.0 ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5 ZLJ-41.5W | ZLJ-42 ZLJ-42W | ZLJ-43 ZLJ-43W | ZLJ-44 ZLJ-44W | ZLJ-46 ZLJ-46W | ZLJ-48 ZLJ-48W |
| 溫度范圍 | -40℃～-15℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.5℃ 控制蒸發(fā)溫度 | ||||||
| 制冷@-35℃ | 0.5kw | 0.7kw | 1kw | 1.6kw | 2.1kw | 3.2kw | 4kw |
| 制冷劑 | R404A 可選配R507C R448 | ||||||
| 高溫降溫 | 具備高溫150度直接降溫技術(shù)，滿(mǎn)足目標(biāo)在高溫運(yùn)行時(shí)迅速進(jìn)行降溫能力 | ||||||
| 電源 | 220V 50HZ | 380V 50HZ 可定制220V | |||||
| 斷路器 | 6A | 6A | 10A | 6A | 10A | 16A | 16A |
| 型號(hào) | ZLJ-81.0 ZLJ-81.0W | ZLJ-81.5 ZLJ-81.5W | ZLJ-82 ZLJ-82W | ZLJ-83 ZLJ-83W | ZLJ-84 ZLJ-84W | ZLJ-86 ZLJ-86W | ZLJ-88 ZLJ-88W |
| 溫度范圍 | -80℃～-50℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.5℃ 控制蒸發(fā)溫度 | ||||||
| 制冷@-70℃ | 0.37kw | 0.5kw | 0.75kw | 1.1kw | 1.5kw | 2.6kw | 3.1kw |
| 制冷劑 | R404A/R508B | ||||||
| 高溫降溫 | 具備高溫150度直接降溫技術(shù)，滿(mǎn)足目標(biāo)在高溫運(yùn)行時(shí)迅速進(jìn)行降溫能力 | ||||||
| 電源 | 220V 50HZ | 380V 50HZ 可定制220V | |||||
| 斷路器 | 10A | 16A | 25A | 16A | 16A | 25A | 32A |
| 型號(hào) | SLJ-3W | SLJ-4W | SLJ-6W | SLJ-11W |
| 溫度范圍 | -150℃～-110℃ | |||
| 制冷@-120℃ | 3KW | 4KW | 6KW | 11KW |
| 制冷@-135℃ | 2.5KW | 3.3KW | 5KW | 9KW |
| 制冷劑 | LNEYA -150混合制冷劑 | |||
| 電源 | 380V 50HZ | |||
| 斷路器 | 25A | 32A | 50A | 80A |
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