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LTS?-40℃~80℃

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廣泛運用在半導體制程中對反應腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質 不可燃流體控溫場所,適用于半導體芯片制造、芯片器件、航空電子設 備中的制冷加熱溫度控制。

廠家實力視頻:

生產車間面積超1.2萬㎡,2021年銷售額突破3億元,在職員工近300人。

應用行業

無錫冠亞氟化液制冷加熱控溫系統廣泛運用在半導體制程中對反應腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱截止不可燃流體控溫場所,適用于半導體芯片制造流程、功率器件、航空電子設備中的制冷加熱溫度控制。

產品不僅能在眾多傳熱應用中提供較好性能,而且不會對人身安全和環境可持續性產生負面影響。氟化液制冷加熱控溫是使用不可燃的絕緣液體氟化液,具有工作溫度范圍寬泛,易于維護等特點,是傳統冷卻液體(如水、水乙二醇或油)的理想替代品。氟化液制冷加熱控溫系統用途廣泛,從半導體制程過程冷卻,再到對航空航天電子設備的冷卻都有應用。

結構原理

控溫系統結構設計原理和功能優勢 采用全密閉管道式設計,降低導熱液需求量的同時,提高系統的熱量利 用率,達到快速升降溫度。

氟化液具有低毒性、不可燃,屬于一種不會影響環境的可持續性發展的 高性能產品,可使溫室氣體排放量減少。同時針對氟化液易揮發特點, 加強接頭設計、系統密封設計,確保介質使用壽命。

 

型號LTS-402LTS-403LTS-404LTS-406LTS-408
LTS-402WLTS-403WLTS-404WLTS-406WLTS-408W
溫度范圍??-40℃~80℃
控溫精度±0.1℃? -40℃~-10℃
流量控制7~25L/min12~45L/min
流量控制采用變頻器調節,循環泵最大壓力5bar
內循環液容積4L5L6L8L10L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L
系統壓力顯示制冷系統壓力、循環系統壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器PLC控制器,模糊PID控制算法,具備串級控制算法
溫度控制導熱介質出口溫度控制模式
外接溫度傳感器:(PT100或4~20mA或通信給定)控制模式(串級控制)
通信協議以太網接口TCP/IP協議
RS485接口 modbus RTU協議
設備內部溫度反饋設備導熱介質出口溫度、介質進口溫度、制冷系統冷凝溫度、環境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設備有)
密閉循環系統整個系統為全密閉系統,低溫不吸收空氣中水份,不揮發導熱介質,低溫自動補充導熱介質進入循環系統
壓縮機艾默生谷輪/丹佛斯渦旋柔性壓縮機
循環泵磁力循環泵
蒸發器板式換熱器
冷凝器銅管鋁翅片冷凝器
板式換熱器(水冷),特別注意:需要使用清潔廠務水
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器)
操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示\EXCEL 數據導出
安全防護具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過載保護;高壓壓力開關,過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
外殼材質冷軋板噴塑 (標準顏色7035)

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