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Chiller 換熱型 系統(tǒng)無(wú)壓縮機(jī)

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氣體控溫系統(tǒng) 3527

半導(dǎo)體溫控裝置

主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制40°C以內(nèi),加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱

循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì),循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動(dòng)泵

氨檢測(cè),安規(guī)檢測(cè),確保系統(tǒng)安全可靠性

經(jīng)過(guò)24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)

 

型號(hào)ETCU-005WETCU-008WETCU-015WETCU-030W
溫度范圍冷卻水溫度 +5℃~90℃
控溫精度±0.3℃
冷卻水溫度7℃~30℃ 采用西門子/霍尼韋爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻水流量
冷卻能力5kw8kw15kw30kw
測(cè)試條件:最大循環(huán)量時(shí),控溫溫度與冷卻水溫度溫差15℃
循環(huán)泵流量7~20L/min 5bar7~20L/min 5bar15~40L/min 5bar20~60L/min 5bar
儲(chǔ)罐容積6L8L10L15L
尺寸480*750*390480*750*390480*750*390480*750*500
電源220V50HZ/60HZ??? 0.6kw50HZ/60HZ 1.3kw50HZ/60HZ 1.6kw

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