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快速溫變控溫卡盤MD

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氣體控溫系統(tǒng) 2829

MD在熱測試方面的zui大創(chuàng)新是熱控制卡盤系列,主要用于半導(dǎo)體晶片的性能測試、建模、工藝開發(fā)、設(shè)計(jì)缺陷或IC故障分析。可以實(shí)現(xiàn)快速溫度變化,精準(zhǔn)控制溫度。系統(tǒng)本身自帶制冷機(jī),避免了液氮、二氧化碳等的消耗,每個(gè)系統(tǒng)均包含了卡盤和冷熱控制單元


型號(hào)MD-708MD-712MDL-708
溫度范圍-75℃~225℃-75℃~225℃-75℃~225℃
控溫精度±0.1℃±0.1℃±0.1℃
平板溫度均勻性±1℃±1℃±1℃
平板平整度±50um±50um±50um
平板尺寸直徑200mm圓盤直徑300mm圓盤150mm*200mm
主機(jī)與卡片連接線2.5m(可定制其他長度)
平板表面處理電鍍鎳(可選擇電鍍 黃金)
升溫-60°C to +25°C: 2 min

0°C to +25°C: 2?min

+25°C to +220°C: 6 min

降溫220°C to +25°C: 2 min

+25°C to -60°C: 6 min

控制系統(tǒng)PLC控制器,加熱前饋PID模糊算法,制冷電子膨脹閥PID調(diào)節(jié)控制制冷量
顯示與記錄7寸彩色觸摸屏,記錄溫度曲線
通訊以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
制冷壓縮機(jī)泰康壓縮機(jī)
電源220V 50/60HZ 2.8KW220V 50/60HZ 4.5KW220V 50/60HZ 2.8KW
主機(jī)尺寸mm550×650×370550×650×370550×650×370

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