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半導(dǎo)體控溫裝置

半導(dǎo)體控溫裝置

氣體控溫系統(tǒng) 6390

半導(dǎo)體溫控裝置

主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制40°C以內(nèi)，加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱

循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì)，循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動(dòng)泵

氨檢測(cè)，安規(guī)檢測(cè)，確保系統(tǒng)安全可靠性

經(jīng)過24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)

產(chǎn)品介紹詳細(xì)信息

型號(hào)FLT-002

FLT-002W

FLT-003

FLT-003W

FLT-004

FLT-004W

FLT-006

FLT-006W

FLT-008

FLT-008W

FLT-010

FLT-010W

FLT-015

FLT-015W

溫度范圍5℃～40℃
控溫精度±0.1℃
流量控制10～25L/min ?5bar max15～45L/min ?6bar max25～75L/min ?6bar max
制冷量@10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等 ?（DI溫度需要控制10℃以上）
進(jìn)出接口G1/2G1/2G3/4G3/4G3/4G1G1
冷卻水口G1/2G1/2G3/4G1G1G1G1 1/8
冷卻水流量@20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
電源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
溫度擴(kuò)展通過增加電加熱器，擴(kuò)展-25℃～80℃

 

型號(hào)FLT-202

FLT-202W

FLT-203

FLT-203W

FLT-204

FLT-204W

FLT-206

FLT-206W

FLT-208

FLT-208W

FLT-210

FLT-210W

FLT-215

FLT-215W

溫度范圍-25℃～40℃
控溫精度±0.1℃
流量控制10～25L/min ±0.315～45L/min ±0.325～75L/min ±0.3
流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，循環(huán)泵zui大壓力5bar
制冷量

@-15℃

2kw3kw3.8kw6kw7.6kw10kw15kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R404A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進(jìn)出接口G1/2G1/2G3/4G3/4G3/4G1G1
冷卻水接口G1/2G1/2G3/4G3/4G1G1G1 1/8
冷卻水流量@20℃1.2m3/H1.6m3/H2.6m3/H3.6m3/H5.5m3/H7m3/H10.2m3/H
電源380V3KW4KW6KW8KW9KW13KW17KW
溫度擴(kuò)展通過增加電加熱器，擴(kuò)展-25℃～80℃

 

型號(hào)FLT-402

FLT-402W

FLT-403

FLT-403W

FLT-404

FLT-404W

FLT-406

FLT-406W

FLT-408

FLT-408W

FLT-410

FLT-410W

FLT-415

FLT-415W

溫度范圍-45℃～40℃
控溫精度±0.1℃
流量10～25L/min ?5bar max15～45L/min 6bar max25～75L/min 6bar max
制熱采用壓縮機(jī)制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量

@-35℃

1kw1.4kw1.8kw2.5kw3.3kw5kw8kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R404A
載冷劑硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進(jìn)出接口尺寸G1/2G1/2G3/4G3/4G3/4G1G3/4
冷卻水接口G1/2G3/4G3/4G1G1G1G1 1/8
冷卻水流量@20℃1.5m3/H2.4m3/H3.5m3/H5m3/H5.5m3/H6m3/H8m3/H
電源380V3KW4KW6KW7.5KW9KW12KW15KW
溫度擴(kuò)展通過增加電加熱器，擴(kuò)展-25℃～80℃

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