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氣體控溫系統(tǒng) 2701

半導體溫控裝置

主要應(yīng)用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制40°C以內(nèi),加熱方式采用壓縮機熱氣加熱

循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計,循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動泵

氨檢測,安規(guī)檢測,確保系統(tǒng)安全可靠性

經(jīng)過24小時連續(xù)運行拷機

 

型號FLTZ-305WFLTZ-305W/2T? 雙系統(tǒng)
溫度范圍-30℃~40℃-30℃~40℃-30℃~40℃
控溫精度±0.1℃±0.1℃±0.1℃
流量控制15~45L/min ±0.315~45L/min ±0.315~45L/min ±0.3
泵壓力6bar max6bar max6bar max
制熱2.5kw2.5kw2.5kw
制冷量at15℃11kw11kw11kw
制冷量at-15℃5kw?? 約4500rpm5kw?? 約4500rpm5kw?? 約4500rpm
內(nèi)循環(huán)液容積8L8L8L
膨脹罐容積15L25L
導熱介質(zhì)氟化液、防凍液、導熱硅油等
導熱介質(zhì)接口ZG3/4ZG3/4ZG3/4
冷卻水接口ZG3/4ZG3/4
冷卻水30L/min at20℃60L/min at20℃
電源220V 50/60HZ220V 50/60HZ
斷路器40A80A
尺寸450*700*1600650*850*1600
溫度擴展選配3.5kw電加熱,溫度可擴展到90℃,電源需要改成380V

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